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本発明において、前記基準部の軸線に対する同軸状の位置及び姿勢は、前記作動体に設けられたコレット摺接部に対して前記基準部が軸線方向に移動可能に摺接することにより保持されるように構成してもよい。ここで、前記コレットは、前記作動体の外周側に配置されても、内周側に配置されてもよい。これらの場合には、前記受圧部が前記流体圧を受けることにより前記作動体が軸線方向先端側へ移動するとき、前記シリンダ摺接部が前記シリンダ構造の内面に対して摺動するとともに前記コレット摺接部が前記コレットに対して摺動しながら、前記駆動部が前記コレットの前記被動部に駆動力を与えることが望ましい。また、前記コレットが前記作動体の外周側に配置される場合には、前記基準部の軸線に対する同軸状の位置及び姿勢は、前記ハウジングに設けられた内面に前記基準部が支持されることにより固定されるように構成してもよい。

一方、特許文献2に記載のチャッキング装置では、コレットとエアシリンダ構造が隣接して配置されるために比較的コンパクトにはなるものの、両者が軸方向に配列されている点では上記と同様であり、構造上はコレットの大きさに対して実施例以上の小型化は難しい。また、コレット12がヘッドキャップ部3とピストン体20にそれぞれ局部的に接触するだけであるとともに、線ばね15や圧縮コイルばね18によって強制的に復帰するように構成されるため、コレットの位置精度を保ちにくいことから、把持部の把持精度や繰り返し精度が低下しやすいという問題がある。

10…ハンドリングユニット、10x…軸線、11…コレット、11a…基準部、11b…弾性変形部、11c…フィンガー部、11d…係止段部、11s…スリット、11g…把持面、11p…規制溝、12…ハウジング、12a…本体、12b…基端部、12c…先端部、12d…支持部、12e…内側段部、12k…支持部、12p…流体供給口、12q…通気口、12o…開口部、12s…シリンダ構造、13…作動体、13a…軸孔、13b…支持面部、13c…駆動部、13d…受圧部、13e…外側段部、13k…被支持部、13p…規制溝、13s…シリンダ摺接部、13t…通気経路、14…作動ばね、15…保持ばね、16…内周側規制ピン、17…外周側規制ピン、100…ハンドリング装置、101…制御部、S1…作動体位置検出器、S2…コレット位置検出器、S3~S5…把持態様検出器、S6…把持対象物検出器、M1,M2,・・・,Mn…動作部(ユニット駆動系含む)

前記筒体の内周と前記軸体の前記大径胴部との間の環状隙間は、直径方向の隙間寸法が均一となるように設けられ、

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この実施形態では、作動体63はコレット61の内部から軸線方向基端側に突出した基端部に受圧部63dが形成されるが、この受圧部63dは、先の各実施形態のような、軸線60xの通過部分に軸孔構造を備えておらず、軸線60xが通過する中心部分にも形成されている。このようにすると、外形寸法を増大させずに、受圧部63dの受圧面積を増大させることができるので、コンパクト化を図りつつ作動体63の駆動力を大きくすることができる。なお、コレット61の基準部61aを、その内側にある作動体63の外面に摺接させることにより、軸線に対して同軸状の位置及び姿勢が保持されるように構成してもよい。このとき、図示例と同様に、コレット61をハウジング62に対しては軸線方向に固定してもよく、或いは、第1実施形態と同様に、コレット61をハウジング62に対して係止位置で位置決め可能としつつ、軸線方向基端側には移動可能に構成してもよい。

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この発明によれば、小型化や軽量化を図ることが容易であるとともに、把持精度や繰り返し精度を確保できるハンドリングユニットを提供することができる。また、ハンドリング装置において、コレットの把持特性に適した良好な作動状態を実現できる。

コレット11は、軸線方向の一部を構成する基準部11aを有する。基準部11aは、図示例では、後述する作動体13の内面に対して軸線10xに沿って摺動可能に支持されることにより、軸線10xに対する同軸状の位置及び姿勢が保持された状態となっている。図示例では、基準部11aは、軸線10xに沿って同径に形成された円筒面状の外周面を備える一体の筒形状に構成される。この基準部11aの軸線10xの方向の先端側(図示左側、以下、単に「軸線方向先端側」という。)には、複数の弾性変形部11bが接続される。弾性変形部11bは、上記基準部11aよりも弾性変形が容易な形状寸法となるように構成される。図示例では、弾性変形部11bは、基準部11aより薄肉であり、かつ、軸線10xの周りの周方向にスリット11sにより分断された構造とされることで、個々に容易に弾性変形するようになっている。図示例では、軸線10xの周りに3つの弾性変形部11bが、軸線10xの周りに3回対称性を備える態様で、等角度間隔に形成される。コレット11の軸線10xに沿った内部は軸線方向に貫通した軸孔11xとなっている。

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