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図6には、第5実施形態のハンドリングユニット50の縦断面図(a)、平面図(b)及び正面図(c)を示す。この第5実施形態では、第1実施形態と同様のコレット51、ハウジング52及び作動体53を備え、第1実施形態と同様のコネクタ58を介して流体供給口52pから流体がシリンダ構造52s内に供給可能になっている。このため、第1~第4実施形態と同様に構成される部分の説明は省略する。ただし、本実施形態は、ハウジング52が、平坦面52fを備えた外面構造を有する点で第1実施形態と異なる。平坦面52fは、図示例では上面と下面の2面に形成されているが、いずれか一方の面にのみ形成されていてもよい。平坦面52fを設け、この平坦面52fをロボットアーム先端部の取付面に装着する際に、ハンドリングユニット50を取付し易くなるとともに、その取付姿勢の高精度化や取付剛性の強化を図ることができる。

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その上、本実施形態では、シリンダ構造12sの内面に対する作動体13のシリンダ摺接部13sの気密なシール領域の軸線方向の範囲内に、上記基準部11aと支持面部13bの摺接構造が配置されるので、コレット11(特に基準部11a)の外周側にもシリンダ構造12sの一部が配置されるため、軸線方向のコンパクト化を図ることができる。また、シリンダ構造12sの上記シール領域の内周側に支持面部13bが配置されることで、支持面部13bの支持面の位置及び姿勢の高精度化を図ることができるため、コレット11の把持精度や繰り返し精度をさらに向上できる。

なお、ハウジング12の先端部12cは、本体12aに対してボルトなどで着脱可能に構成されているとともに、先端部12cを本体12aから取り外した状態ではコレット11も着脱可能に構成される。このため、ハンドリングユニット10を図示しないロボットアームの先端部などから取り外すことなしに、コレット11を交換することができるので、コレットにおける把持構造の変更やスプリングバック量の変更などを容易に行うことができる。

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また、ハンドリングユニット10は、コネクタ19を介して排気装置104に接続される。排気装置104は、排気経路105に沿って設置された圧力調整器P2及び開閉弁V2を経て、ハンドリングユニット10の内部(軸孔11x及び通気口12q)を吸引し、排気する。なお、排気装置104の代わりに、上記と同様の流体供給源を接続してもよく、また、排気装置と流体供給源とを切替可能に接続するようにしてもよい。

前記筒体の先端より先端部が突出するように前記筒体の内部に環状隙間を有して収容され、前記筒体に対して一体回転するとともに、軸方向に往復移動しながら、前記筒体の主軸の回転中心線を通る平面上を往復揺動可能な内側の軸体と、

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